有效測量行程(X*Y) ：800 mm×600 mm   6050   1210   1510  2515  等尺寸均有現(xiàn)貨

Z軸調焦升降范圍：200mm

Z軸測量行程：200mm

分辨率：0.0005mm

X、Y軸坐標示值誤差：U≤(3+L/200)μm

Z軸坐標示值誤差：U≤(6+L/150)μm

玻璃臺尺寸：940mm×694 mm

承載重量：≤30 kg

影像系統(tǒng)： 日本原裝進口SONY CCD 彩色高分辨率工業(yè)攝像機CCD， 700TV線

物鏡：美國NAVITAR 變倍鏡頭可連續(xù)變倍光學放大倍率0.7×-4.5×

視頻總倍率約：20X～180X,

物方視場：10.6-1.6mm，工作距離90mm

光柵尺：英國RENISHAW貼片式光柵尺 高精度精密光柵尺,分辨率0.0005mm

照明系統(tǒng)：程控可調LED表面光和底光

導軌：臺灣HIWIN高精度直線導軌

傳動方式：X、Y、Z軸均采用伺服電機驅動光桿傳動的型式

操作方式：日本松下伺服電機 三軸運動速度：100mm/s 三軸定位精度：0.001mm

主機外形尺寸：1470mm×965mm×1675 mm

機臺底座：高精度花崗巖精度00級

儀器總重：約1200kg